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Quel est l’impact d’un air trop sec en salles propres ?

Salles Propres | 26 mars 2019 |

L’hygrométrie, et en particulier l’humidité relative, influence les principaux facteurs régissant les performances des salles propres :

- Charges électrostatiques : des niveaux d’humidité relative inférieurs à 30 % favorisent la formation de charges électrostatiques pouvant gravement endommager les composants électroniques.

- Bactéries et contaminants biologiques : l’augmentation de l’humidité relative en dessous de 30 % et au-delà de 60 % peut engendrer une prolifération des bactéries et d’autres contaminants biologiques.

- Réactions chimiques : la vitesse de nombreuses réactions chimiques, y compris le processus de corrosion, dépend directement de l’humidité relative.

- Semi-conducteurs : la viscosité du photoresist (dont dépend la possibilité de déposer un film d’épaisseur constante) est directement liée à l’humidité relative ambiante.

- Forces capillaires : à des niveaux d’humidité relative élevés, les forces capillaires augmentent l’adhérence des particules d’eau sur les surfaces.

- Confort du personnel : une humidité relative entre 40 et 60 % correspond à la zone de bien-être des personnes.



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